材料分析・評価

製造設備の評価

• 高純度化学品の分析
• ユーズポイントに使用される化学品による劣化の分析・評価
• 高純度ガス、微量金属、微量不純物の分析

• 装置材料の評価
• 各種プラスチック、金属、ガラス、エアフィルター等からの微量汚染物質測定
• シリコン製品、断熱材原料における不純物定性・定量分析
• 腐食原因解析
• 付着異物、粘着物の定性
• 原因究明および改善措置のための分析
• 環境空気およびクリーンルームエア分析

デバイス表面の分析・評価

開発評価

• ウェーハ表面の微量不純物分析
• 電子顕微鏡による薄膜観察および構造解析
• ナノメートル範囲の分析
• 各種成膜の定性・定量分析
• BPSG組成、 微量汚染分析
• 製品中の金属規格分析

• 化学品の合成
• 液晶、感光性物質の合成
• 腐食環境での耐久性評価
• 信頼性評価
• 気温、湿度、腐食ガス
• 化学品の安全性試験　例：溶剤、洗剤濃度や反応による副生成物の分析
• 排水、溶剤、化学品、樹脂のリサイクル評価試験

電子部品の分析・評価

• SEM-EDX、μFT-IRによる異物分析、表面分析
• 欠陥解析
• アウトガス評価：トラブル要因となる有機物の解析
• 半導体装置、建材、容器、接着剤、原料その他からのアウトガス分析
• 製造環境の汚染要因調査
• 部品の化学物質分析
  例：HDD関連部品評価、クリンリネス試験
  クラッシュストッパー 、シールコネクター、イオン分析（陽イオン６種、
  陰イオン7種+シュウ酸塩)